本文研究了制备纳米硅粉的工艺参数：获得了最佳工艺参数：激光功率密度１６００Ｗ／ｃｍ＾２，硅烷浓度１０％，高纯氩稀释，反应气体流量１００ｃｍ＾３／ｓ，反应池压力２６．７ｋＰａ。改变工艺参数可制......